半導体製造洗浄プロセスラインシステムにおける要素技術

※ ペルチェを用いた精密温度コントロールによる恒温洗浄循環液システムの提供。

※ ナノバブル発生器を組み込んだ洗浄システム。

※ 【仕様】PWM / PID制御方式サーモモジュール精密コントローラ

■ お知らせ

半導体製造設備ラインの延命・保守修復サービス開始

東北エリア鶴岡支店2月1日

山形県鶴岡市みどり町12-10

COREビル1F にて営業時間

AM9:00~PM17:00

Email:tsuruoka@yhtc.co.jp

TEL: 0235-35-0771

 

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